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早期人們判斷物品水分含量高低（即干燥程度）的方法是通過人的感官進行定性判斷，比如用手摸可以感覺這個樣品比那個樣品更干燥一點。到19世紀隨著產品的工業化開始，人們需要更精確的判斷產品水分含量，即定量分析產品的水分含量，因此，儀器檢測逐漸進入各行各業的水分分析。目前水分含量的儀器測量方法主要是熱失重法。

烘箱干燥法是目前通用的水分檢測技術，而且是許多行業水分檢測的國標法；首先在天平上稱取樣品的初始重量，然后放入烘箱進行加熱，并將樣品中的水分及相應揮發份蒸發出來，再在天平上稱取其干燥后的重量，并進行計算得出樣品的含水量。

由于烘箱干燥法利用的是空氣對流熱，其熱效率相對較低，因此該方法檢測速度慢，一個測量需要幾個小時甚至更長，隨著工業化的快速發展，人們需要快速知道生產過程中產品的水分含量，因此烘箱干燥法已不能滿足這種快速測量的要求，應運而研發了紅外快速水分儀、鹵素水分檢測儀、微波干燥水分儀等，這些儀器檢測速度更快，可將一個測量時間縮短到幾分鐘，甚至幾十秒鐘。